中科科儀掃描電鏡

簡要描述：中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000 使用肖特基場發(fā)射電子槍，采用電子束加速鏡筒，確保低壓下較好的成像功能，超高分辨率，適合研究所，高校等更多高分辨率觀測需求。

產(chǎn)品分類

Product classification

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詳細介紹

中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000

簡介

KYKY-EM8100 場發(fā)射掃描電鏡采用電子束加速鏡筒，確保低壓下較好的成像功能，超高分辨率，適合研究所，高校等更多高分辨率觀測需求。

使用肖特基場發(fā)射電子槍，亮度高，單色性好、電子束斑小，壽命長，超大樣品倉，滿足不同客戶的觀測需求；

低像差物鏡技術提升成像品質，特殊結構設計，樣品適用性更廣；錐形物鏡設計，提升各類信號探測效率；

借助于光學顯微鏡可以看到0.2微米的這個尺度，可以看到細胞、細菌的結構等；而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，可以觀測到病DU、半導體器件的納米結構等。

中科科儀掃描電鏡

產(chǎn)品特點

1. 0.9nm@30Kv (SE)，2.5nm@30kV (BSE)

2. 低加速電壓不導電樣品可直接觀測，無需噴金

3. 超大樣品艙，樣品直徑340mm，可定制樣品倉尺寸

4. 束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長時間的各種精確分析

中科科儀掃描電鏡

中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000 技術指標

分辨率	0.9nm@30KV（SE）; 2.5nm@30KV （BSE）
放大倍數(shù)	2-3,000,000（圖像放大）
電子槍	肖特基熱場發(fā)射電子槍
加速電壓	0.2～30kV
自動調整功能	聚焦，亮度/對比度、消像散、電子束對中
探測器	高真空二次電子探測器（探頭防碰撞）、CCD
樣品臺	五軸全自動大樣品臺行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+75°,R=360° 樣品直徑: Ф340mm；樣品高度：50mm；具有碰撞報警功能。
選配探測器	BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等

中科科儀掃描電鏡

廣泛應用到材料科學、生命科學、航天航空、環(huán)境保護、半導體制造等領域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，為我國前沿科學研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。

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